Nákvæm þrif og yfirborðMeðferð
Við sérhæfum okkur í að veita faglegar hreinsunar- og yfirborðsmeðferðarlausnir fyrir háþróaða vinnslutækni. Með því að samþætta auðlindir frá stefnumótandi samstarfsaðilum innan iðnaðarins, erum við í samstarfi um að veita viðskiptavinum okkar alhliða þjónustuaðstoð. Samstarfsaðilar okkar búa yfir yfir 20 ára hagnýtri reynslu á hálfleiðarasviðinu, með teymum með tæknilega sérfræðiþekkingu sem nær yfir 14nm hnútinn. Þeir eru færir um að veita áreiðanlega hreinsunar- og yfirborðsmeðferðarþjónustu fyrir 8 tommu og 12 tommu diska, sem felur í sér ferla eins og líkamlega gufuútfellingu (PVD), efnafræðilega gufuútfellingu (CVD), ætingu og jónaígræðslu.
Sem þjónustubrú nýtum við þroskuð gæðastjórnunarkerfi samstarfsaðila okkar og móttækilega þjónustugetu til að hjálpa viðskiptavinum í samþættum hringrásum og víðtækri hálfleiðaraframleiðslu að takast á við ströng gæðaeftirlit og ferli áskoranir og veita skilvirka og stöðuga þjónustustuðning.
Tilviksrannsóknir á nákvæmni hreinsun
Sýnisprófun eftir nákvæmni þvott, agnastig og magn málmjónaleifa á yfirborðinu verða að uppfylla kröfur núverandi 28nm ferli.
-
Áður -
Eftir
-
Áður -
Eftir
-
Áður -
Eftir
-
Áður -
Eftir
Nákvæmni hreinsunar- og endurnýjunarferli
-
Komandi skoðun
Komandi skoðun
Athugaðu útlit, forskriftir og skemmdir.
-
Grímur
Grímur
Verndaðu svæði sem ekki eru-meðhöndluð gegn tæringu.
-
Efnahreinsun
Efnahreinsun
Fjarlægðu gamla húðun nákvæmlega.
-
Skolun/Í bleyti
Skolun/Í bleyti
Fjarlægðu efnaleifar með hreinu vatni.
-
Grímur
Grímur
Verja svæði fyrir sandblástur.
-
Sandblástur
Sandblástur
Stilltu færibreytur til að ná markmiðsgrófleika.
-
Stærð og skoðun
Stærð og skoðun
Mældu og leiðréttu mál til að uppfylla forskriftir.
-
Hitaúða
Hitaúða
Berið á slitþolið-húð með Arc eða Plasma.
-
Hár-þrýstiþvottur
Hár-þrýstiþvottur
Fjarlægðu stórar yfirborðsagnir.
-
Ultrasonic hreinsun
Ultrasonic hreinsun
Framkvæmdu nákvæma hreinsun til að fjarlægja fínar agnir.
-
Hreinherbergisþurrkun
Hreinherbergisþurrkun
Þurrkaðu íhluti vandlega í Class 100 hreinherbergisofni.
-
Lokaskoðun
Lokaskoðun
Framkvæma alhliða athuganir til að tryggja að farið sé að.
-
Umbúðir
Umbúðir
Vacuum pakka íhlutir samkvæmt kröfum viðskiptavina.
-
Sendingarúttekt
Sendingarúttekt
Staðfestu magn og umbúðir heilleika.
-
Lokaafhending
Lokaafhending
Búðu til skýrslur og skilaðu.
Þjónustugeta
► 5000m2(55000 fm) hreint verkstæðissvæði.
► Yfir 5.0000 stykki / mánuði meðferðargeta.
► 365 dagar samfelld og skilvirk þjónusta.
► Mismunandi vörur, mismunandi ferli.
►8 leiðandi vinnslulína þar á meðal tækni af:
- Efnahreinsun/fráhreinsun, Efnahreinsun
- ARC-úða, plasmaúða, húðun, áferð, ryksuga og pökkun, yfirferð o.fl.
Tæknileg hæfni
► Ferli: 14nm háþróað ferli
► Þjónustuumfang: 4 tommur, 6 tommur, 12 tommur af hálfleiðara hlutum
► Þjónustuferli: PVD/CVD/ETCH/IMPLANT/LITHO
► Strangt gæðaeftirlit: Há-stöðluð nákvæmni hreinsunartækni